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J-GLOBAL ID：200903020865762280

硬質炭素膜被覆部材およびその製法

Inventor： 厚主 成生
Applicant, Patent owner： 京セラ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993099588
Publication number (International publication number)：1994306610
Application date： Apr. 26, 1993
Publication date： Nov. 01, 1994
Summary：

【要約】【構成】少なくとも炭素源ガスと、例えば基体1中に含まれる金属元素を含有するガスと含む原料ガスを反応室内に導入し、その原料ガスを励起して基板1に接触させ、基板1上に硬質炭素3と金属元素と炭素との化合物2を同時に析出させることにより、膜中に金属元素と炭素との化合物2を含有する硬質炭素膜被覆部材を得る。【効果】ダイヤモンドなどの硬質炭素膜自体の強度を高めるとともに、基体との密着性を高めることができる。しかも、基体を特に制限することなく、同様な効果を得ることができる。また、製法上も硬質膜形成工程以外に格別な中間層形成工程を必要としない。

Claim (excerpt)：

所定の基体表面に硬質炭素膜を被覆してなる硬質炭素膜被覆部材において、前記硬質炭素膜中に金属元素と炭素との化合物を含有することを特徴とする硬質炭素膜被覆部材。

IPC (2)：

C23C 16/26 ,  C23C 16/32

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平2-267268
  
• 特開昭61-106494
  
• 特公昭61-015952