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J-GLOBAL ID：200903020877256940

改質多環式ポリマー

Inventor： サイクマル・ジャヤラマン ,  ジョージ・エム・ベネディクト ,  ラリー・エフ・ローデス ,  リチャード・ヴィカリ ,  ロバート・ディ・アレン ,  リチャード・エイ・ディピエトロ ,  ラトナム・ソーリヤクマラン ,  トーマス・ワロウ
Applicant, Patent owner： ザ ビー.エフ.グッドリッチ カンパニー ,  インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
Agent (1)： 大島 正孝
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000532461
Publication number (International publication number)：2002504577
Application date： Feb. 19, 1999
Publication date： Feb. 12, 2002
Summary：

【要約】本発明は環式ポリマーおよび光リソグラフ用途にそれを使用することに関する。この環式ポリマーは酸不安定性ペンダント官能基と保護ヒドロキシル基を含む官能基とを含有する。このポリマーはペンダントヒドロキシル基を脱保護しそして脱保護されたヒドロキシル基を含有する基を共反応試剤と反応させることによって後改質させる。この後官能化されたポリマーは化学増幅型ホトレジスト組成物への利用を見出した。

Claim (excerpt)：

酸不安定性ペンダント官能基および保護ヒドロキシル部分を含む保護官能基を含有する環式主鎖を含むポリマー。

IPC (4)：

C08F 32/00 ,  C08F 36/00 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075

FI (4)：

C08F 32/00 ,  C08F 36/00 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075

F-Term (47)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB34 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  4J100AR09P ,  4J100AR09R ,  4J100AR11P ,  4J100AR11Q ,  4J100BA03H ,  4J100BA03P ,  4J100BA12P ,  4J100BA14H ,  4J100BA15H ,  4J100BA16H ,  4J100BA16P ,  4J100BA20H ,  4J100BA20P ,  4J100BA20Q ,  4J100BA22R ,  4J100BA34H ,  4J100BA38H ,  4J100BA40H ,  4J100BA56H ,  4J100BA76P ,  4J100BC43P ,  4J100BC53H ,  4J100BC55P ,  4J100BC66H ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA31 ,  4J100FA08 ,  4J100HA08 ,  4J100HA45 ,  4J100HA61 ,  4J100JA38