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J-GLOBAL ID：200903020918127425
非球面マイクロレンズアレイの製造方法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993248277
Publication number (International publication number)：1995104106
Application date： Oct. 04, 1993
Publication date： Apr. 21, 1995
Summary：
【要約】【目的】金型成形法により、収差が小さく開口数の大きな非球面マイクロレンズアレイを得る。【構成】基板上に感光性樹脂を塗布し、フォトリソグラフィー法によりレンズの個数・間隔にしたがって樹脂を円板形状のアレイにパターニングし、該円板形状の樹脂を熱処理により球面形状に丸め、該球面形状の樹脂をマスクとしてドライエッチングを行ない、マスクの形状に近い形状を基板上に転写して得られる母型からつくられる金型を用いる。
Claim (excerpt)：
金型成形法によるマイクロレンズアレイの製造方法において、該金型が、(1)基板上に感光性樹脂を塗布する工程、(2)フォトリソグラフィー法により、作製するレンズの個数と間隔にしたがって、前記感光性樹脂を円板形状のアレイにパターニングする工程、(3)前記円板形状の樹脂を熱処理により球面形状に丸める工程および(4)前記球面形状の樹脂をマスクとして、基板のエッチング速度がマスクのエッチング速度よりも大きくなるように設定された条件下でドライエッチングを行ない、マスクの形状に近い形状を基板上に転写する工程から得られる母型からつくられることを特徴とする非球面マイクロレンズアレイの製造方法。
IPC (2)：
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