ポリビニルアルコール系感光性樹脂および感光性樹脂組成物並びにそれを用いたパターン形成方法

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：栗原浩之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995321662
Publication number (International publication number)：1997160240
Application date： Dec. 11, 1995
Publication date： Jun. 20, 1997
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】耐水性および耐熱性が良好で、水溶性も十分であり、アニオン性の添加剤との混和性もよい感光性樹脂および組成物並びにパターン形成方法を提供する。【解決手段】特定の感光性の四級化された芳香族含窒素複素環を有するスチリル化合物下記一般式(I)と、特定のスルホン酸基を二つ有するフェニル化合物下記一般式(II)とを、(I)の含有量が0.5〜10モル%であり、(II)の含有量が0.1〜20モル%であるようにペンダントする。(R1は四級化された芳香族含有窒素複素環残基、R2は水素原子または低級アルコキシル基、mは0または1、nは1〜6の整数を表す)(X1およびX2は水素原子、Na、K、アンモニウムを表す)

Claim (excerpt)：

下記一般式(I)および(II)で表される構成単位を有するポリビニルアルコール系高分子化合物であって、【化1】(R1は四級化された芳香族含有窒素複素環残基、R2は水素原子または低級アルコキシル基、mは0または1、nは1〜6の整数を表す)【化2】(X1およびX2は水素原子、Na、K、アンモニウムを表す)前記一般式(I)の含有量が0.5〜10モル%であり、前記一般式(II)の含有量が0.1〜20モル%であるポリビニルアルコール系高分子化合物からなることを特徴とするポリビニルアルコール系感光性樹脂。

IPC (7)：

G03F 7/033 , C08F 16/38 MLC , G03F 7/004 504 , G03F 7/008 , G03F 7/031 , G03F 7/12 , H01J 9/227

FI (7)：

G03F 7/033 , C08F 16/38 MLC , G03F 7/004 504 , G03F 7/008 , G03F 7/031 , G03F 7/12 , H01J 9/227 C

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (14)

特開昭59-213705
特開昭61-017138
特開昭50-101445

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