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J-GLOBAL ID：200903020966751084

軟磁性合金薄膜及びその製造方法

Inventor： 小倉 隆 ,  久米 実
Applicant, Patent owner： 三洋電機株式会社
Agent (1)： 目次 誠 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994093492
Publication number (International publication number)：1995302711
Application date： May. 02, 1994
Publication date： Nov. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】 高温熱処理を施さなくとも、優れた軟磁気特性を示す高い飽和磁束密度を有する軟磁性合金薄膜を得る。【構成】 FeX NY OZ の組成式で示される軟磁性合金薄膜であって、好ましくは、FeO3 で表される酸化鉄と、Fe4 N及びFe3 Nで表される窒化鉄と、α-Feの4つの相を有し、組成式のX、Y、及びZが、0.005≦Y≦0.120.005≦Z≦0.12X+Y+Z=1の関係を有することを特徴としている。

Claim (excerpt)：

FeX NY OZ (X+Y+Z=1)の組成式で表されることを特徴とする軟磁性合金薄膜。

IPC (5)：

H01F 10/14 ,  C22C 38/00 303 ,  C23C 14/06 ,  G11B 5/127 ,  G11B 5/31

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開平4-162505
  
• 特開平2-298238
  
• 特開平3-232206