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J-GLOBAL ID：200903020989453552

ダイヤモンド膜被覆金属チタンの製造方法

Inventor： 津森 俊宏
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991350249
Publication number (International publication number)：1993163570
Application date： Dec. 09, 1991
Publication date： Jun. 29, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】金属チタンの表面にAl2O3,SiO2又はWよりなる中間蒸着膜を0.10〜3.00μmの厚さに真空蒸着法により形成した後、その表面にマイクロ波プラズマ気相沈積法によりダイヤモンド膜を形成することを特徴とするダイヤモンド膜被覆金属チタンの製造方法。【効果】本発明によれば従来不可能とされていた金属チタン上へのダイヤモンド膜の形成が可能となり、物理、化学的に優れた強度を有する複合材料を容易に作製できる。

Claim (excerpt)：

金属チタンの表面にAl2O3,SiO2又はWよりなる中間蒸着膜を0.10〜3.00μmの厚さに真空蒸着法により形成した後、その表面にマイクロ波プラズマ気相沈積法によりダイヤモンド膜を形成することを特徴とするダイヤモンド膜被覆金属チタンの製造方法。

IPC (4)：

C23C 16/26 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/02 ,  C30B 29/04