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J-GLOBAL ID：200903021006435907

金属酸化物分散体

Inventor： 丸山 睦弘
Applicant, Patent owner： 旭化成株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004028936
Publication number (International publication number)：2005220402
Application date： Feb. 05, 2004
Publication date： Aug. 18, 2005
Summary：

【課題】 低温での加熱処理によって、基材の上に低い体積抵抗値の金属薄膜の形成が可能な金属酸化物分散体、及び製造方法の提供。【解決手段】 多価アルコールと、少なくとも一つの末端が非極性基である平均分子量が150〜600の直鎖状脂肪族ポリエーテル化合物からなる混合物中に、一次粒径が100nm以下の金属酸化物微粒子が分散されている金属酸化物分散体を、基板上に塗布し加熱処理する。【選択図】 選択図なし。

Claim (excerpt)：

多価アルコールと、少なくとも一つの末端がアルキル基である平均分子量が150〜600の直鎖状脂肪族ポリエーテル化合物からなる混合物中に、一次粒径が100nm以下の金属酸化物微粒子が分散されている金属酸化物分散体。

IPC (4)：

C23C20/04 ,  H01B13/00 ,  H01L21/28 ,  H01L21/288

FI (4)：

C23C20/04 ,  H01B13/00 503Z ,  H01L21/28 B ,  H01L21/288 Z

F-Term (25)：

2H092HA06 ,  2H092KA19 ,  2H092MA10 ,  2H092MA22 ,  2H092NA27 ,  2H092NA28 ,  4K022AA01 ,  4K022AA11 ,  4K022AA42 ,  4K022BA01 ,  4K022BA08 ,  4K022BA35 ,  4K022DA06 ,  4K022DA09 ,  4K022DB01 ,  4K022EA01 ,  4M104BB04 ,  4M104DD51 ,  4M104DD78 ,  4M104DD86 ,  5G301DA23 ,  5G301DA42 ,  5G301DD01 ,  5G301DD02 ,  5G323AA03

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特許第2561537号明細書
  
• 微粒子分散ぺースト及びこれを用いた金属膜の製造方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-290524   Applicant：三ツ星ベルト株式会社
• 国際公開第03/051562号パンフレット