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J-GLOBAL ID：200903021048495683

研磨性能を高め寿命を延ばす研磨パッド担体

Inventor： オーベン,ヤウ エス. ,  トーマス,ピーター, エー.
Applicant, Patent owner： サイロクエスト インコーポレーテッド
Agent (9)： 岡部 正夫 ,  加藤 伸晃 ,  産形 和央 ,  岡部 讓 ,  臼井 伸一 ,  越智 隆夫 ,  本宮 照久 ,  朝日 伸光 ,  三山 勝巳
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004536072
Publication number (International publication number)：2005537946
Application date： Sep. 02, 2003
Publication date： Dec. 15, 2005
Summary：

本発明は、研磨特性および寿命を向上させた研磨パッド(230)を提示する。パッドは、凹型セル(244)からなる表面(242)を持つ熱可塑性フォーム基材(240)からなる。研磨材(246)により、凹型セルの内面(248)をコーティングする。本発明は、研磨パッドを準備する方法、および研磨パッドを備える研磨装置(200)を含む。

Claim (excerpt)：

研磨パッドであって、 凹型セルからなる表面を持つ熱可塑性フォーム基材と、 前記凹型セルの内面をコーティングする研磨材とを含む研磨パッド。

IPC (4)：

B24D11/00 ,  B24B37/00 ,  B24D3/00 ,  H01L21/304

FI (5)：

B24D11/00 E ,  B24B37/00 C ,  B24D3/00 320A ,  B24D3/00 320Z ,  H01L21/304 622F

F-Term (16)：

3C058AA02 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058CB04 ,  3C058CB05 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  3C058DA12 ,  3C058DA17 ,  3C063AA03 ,  3C063BA24 ,  3C063BB01 ,  3C063BC03 ,  3C063BG08 ,  3C063EE26

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 米国特許第6425816号
  
• 米国特許第6425803号
  
• 米国特許出願第09/994407号