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J-GLOBAL ID：200903021066191233

太陽電池成膜装置

Inventor： 白井 励 ,  武田 晃 ,  宇山 晴夫 ,  三井田 淳 ,  山本 恭市 ,  柴田 志朗 ,  伊藤 学 ,  盧 和敬
Applicant, Patent owner： 凸版印刷株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999072354
Publication number (International publication number)：2000269530
Application date： Mar. 17, 1999
Publication date： Sep. 29, 2000
Summary：

【要約】【課題】フィルムの成膜面への搬送部材(ローラなど)の接触や、隣接する成膜室間でのガスの相互拡散による影響を排除し、太陽電池を構成する各薄膜の特性を安定させる方式の太陽電池成膜装置を提供する。【解決手段】フィルムが円弧状(多角形状)の方向に流れて供給され、成膜室が前記方向に沿って配置されており、前記円弧(多角形)の凸状側のフィルム面に成膜が行なわれる構成の、ロールツーロール方式またはステッピングロール方式の成膜装置。

Claim (excerpt)：

真空成膜法によりフィルム上に薄膜太陽電池を構成する光電変換部を形成する成膜室を有する太陽電池成膜装置において、前記装置が、巻き出しロールから供給されるフィルム上に成膜を施し、成膜されたフィルムを巻き取りロールで巻き取るロールツーロール方式またはステッピングロール方式であり、フィルムが円弧状の方向に流れて供給され、成膜室が前記方向に沿って配置された構成であり、前記円弧の凸状側のフィルム面に成膜が行なわれることを特徴とする太陽電池成膜装置。

IPC (3)：

H01L 31/04 ,  C23C 16/54 ,  H01L 21/205

FI (3)：

H01L 31/04 V ,  C23C 16/54 ,  H01L 21/205

F-Term (23)：

4K030AA06 ,  4K030BB12 ,  4K030CA12 ,  4K030GA04 ,  4K030GA14 ,  4K030KA08 ,  4K030LA16 ,  5F045AA08 ,  5F045AF07 ,  5F045BB08 ,  5F045BB14 ,  5F045CA13 ,  5F045DA52 ,  5F045DP22 ,  5F045DQ14 ,  5F045EB08 ,  5F051BA14 ,  5F051BA15 ,  5F051CA21 ,  5F051CA22 ,  5F051CA24 ,  5F051DA04 ,  5F051GA05