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J-GLOBAL ID：200903021079849599

プラズマエッチング用電極板

Inventor： 太田 幸次郎 ,  菊池 好洋 ,  鎌田 充志
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992282112
Publication number (International publication number)：1994128762
Application date： Oct. 21, 1992
Publication date： May. 10, 1994
Summary：

【要約】【目的】 エッチング時にウエハ面に付着する粉末粒子の粒子数が少ないプラズマエッチング用電極板を提供する。【構成】 プラズマにより消耗する部位の表面平滑度がRmax6μm以下であるガラス状炭素からなるプラズマエッチング用電極板。

Claim (excerpt)：

プラズマにより消耗する部位の表面平滑度がRmax6μm以下であるガラス状炭素からなるプラズマエッチング用電極板。

IPC (3)：

C23F 4/00 ,  H01L 21/302 ,  H05H 1/46