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J-GLOBAL ID：200903021101769944

集積回路コンデンサ

Inventor： ロバート ツ ,  浅野 勇 ,  飯島 晋平 ,  ウィリアム アール.マッキー
Applicant, Patent owner： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド ,  株式会社日立製作所
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998021283
Publication number (International publication number)：1998223863
Application date： Feb. 02, 1998
Publication date： Aug. 21, 1998
Summary：

【要約】【課題】 酸化に対し良好な耐性を有しかつ大きな仕事関数を有する自己整合電極を備えた集積回路コンデンサを提供する。【解決手段】 本発明のコンデンサの作成は、絶縁体領域26に隣接するベース電極18で開始する。このベース電極18は、ポリシリコンまたは金属のいずれかを有することができる。ケイ化物化される金属のような第1部材の層28が、ベース電極18の上および隣接する絶縁体領域の上に作成される。その後、自己整合コンデンサ電極12が、ベース電極18と第1部材28とを反応させそして絶縁体領域26から第1部材28の未反応の部分を除去することにより作成される。その後、自己整合コンデンサ電極12の上に誘電体層16を作成しそして誘電体層16の上に第2コンデンサ電極14を作成することにより、コンデンサが完成する。

Claim (excerpt)：

絶縁体領域に隣接してベース電極部材を備える段階と、前記ベース電極部材と前記隣接する絶縁体領域との上に第1部材の層を作成する段階と、前記第1部材が前記ベース電極部材と反応することにより自己整合コンデンサ電極を作成する段階と、前記自己整合コンデンサ電極の上に誘電体層を作成する段階と、前記誘電体層の上に第2コンデンサ電極を作成する段階と、を有する、集積回路コンデンサを製造する方法。

IPC (2)：

H01L 27/108 ,  H01L 21/8242

FI (3)：

H01L 27/10 621 C ,  H01L 27/10 621 B ,  H01L 27/10 651