Pat
J-GLOBAL ID：200903021106984096

ファブリペローフィルタ

Inventor：
蒲原 敦彦

About 蒲原 敦彦


Applicant, Patent owner：
横河電機株式会社

About 横河電機株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2003018592
Publication number (International publication number)：2004233412
Application date： Jan. 28, 2003
Publication date： Aug. 19, 2004
Summary：
【課題】多層光学薄膜の層数を少なくすると共に、製造が容易で、光ファイバーとの位置合わせが容易なファブリペローフィルタを提供すること。【解決手段】固定鏡とこの固定鏡に大きさ可変のギャップを有して対向配置される可動鏡とを有し、ギャップに対応する任意所望の波長の光を選択して透過させるファブリペローフィルタにおいて、固定鏡は、単結晶シリコン基板上に絶縁膜を介して単結晶シリコン層が形成されたSOI基板上に単結晶シリコン層をフォトエッチングすることにより形成され、可動鏡は、SOI基板上に絶縁膜及び単結晶シリコン層をフォトエッチングすることにより単結晶シリコン基板から浮いた中空梁状に形成されると共に、SOI基板の面方向で固定鏡に対向配置され、可動鏡をSOI基板の面方向に駆動して前記ギャップを可変としたことを特徴とするファブリペローフィルタ。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
固定鏡とこの固定鏡に大きさ可変のギャップを有して対向配置される可動鏡とを有し、前記ギャップに対応する任意所望の波長の光を選択して透過させるファブリペローフィルタにおいて、 前記固定鏡は、単結晶シリコン基板上に絶縁膜を介して単結晶シリコン層が形成されたSOI基板上に前記単結晶シリコン層をフォトエッチングすることにより形成され、 前記可動鏡は、前記SOI基板上に前記絶縁膜及び前記単結晶シリコン層をフォトエッチングすることにより前記単結晶シリコン基板から浮いた中空梁状に形成されると共に、前記SOI基板の面方向で前記固定鏡に対向配置され、 前記可動鏡を前記SOI基板の面方向に駆動して前記ギャップを可変としたことを特徴とするファブリペローフィルタ。
IPC (4)：
G02B5/28 ,  G02B6/12 ,  G02B6/122 ,  G02B26/00
FI (4)：
G02B5/28 ,  G02B26/00 ,  G02B6/12 C ,  G02B6/12 H
F-Term (17)：
2H041AA21 ,  2H041AB15 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ01 ,  2H041AZ08 ,  2H047KA02 ,  2H047KB09 ,  2H047LA09 ,  2H047MA05 ,  2H047NA10 ,  2H047PA24 ,  2H047QA02 ,  2H048GA04 ,  2H048GA12 ,  2H048GA30 ,  2H048GA33 ,  2H048GA62
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (4)
  • 波長可変デバイス
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2002-191667   Applicant：日本電気株式会社
  • 光空洞からなる物品
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-083938   Applicant：ルーセントテクノロジーズインコーポレイテッド
  • 波長可変半導体発光装置
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平4-335825   Applicant：日本電信電話株式会社
Show all

Return to Previous Page

TOP

BOTTOM