Pat
J-GLOBAL ID：200903021116349240
クラスターイオンビームの質量分離方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
西澤 利夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993088224
Publication number (International publication number)：1994275400
Application date： Mar. 22, 1993
Publication date： Sep. 30, 1994
Summary：
【要約】【構成】 ガスクラスターイオンビームをエネルギーアナライザーによってクラスター質量分離する。【効果】 ガスクラスターイオンの低エネルギー性と高い化学反応性を利用し、エレクトロニクス、オプトエレクトロニクス等において有用な、クラスターサイズの選択利用を可能とする。
Claim (excerpt)：
常温で気体状物質の塊状原子集団または分子集団であるクラスターを形成し、これに電子を浴びせて生成させたイオンを加速電圧によって加速するに際し、複数の開孔電極の開孔部にクラスタービームを通過させ、この電極に電圧印加してクラスターを質量分離することを特徴とするクラスターイオンビームの質量分離方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Return to Previous Page
