感光性ポリイミド前駆体組成物

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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993111668
Publication number (International publication number)：1994324492
Application date： May. 13, 1993
Publication date： Nov. 25, 1994
Summary：

【要約】【構成】本発明は、ポリイミド前駆体、エチレン性不飽和二重結合およびアミノ基および/またはアミド基を有する化合物、特定のオキシム化合物を含有する感光性ポリイミド前駆体組成物に関する。【発明の効果】本発明における感光性ポリイミド前駆体組成物は容易に製造でき、かつ、ポジ型、ネガ型ともに優れた機能を有するので有用である。さらに現像後、キュアすることにより、性能が優れたポリイミド被膜を得ることができた。

Claim (excerpt)：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマ(A)、【化1】(ただし、式中R1 は少なくとも2個の炭素原子を有する3価または4価の有機基、R2 は少なくとも2個の炭素原子を有する2価の有機基、R3 は水素、アルカリ金属イオン、アンモニウムイオンまたは炭素数1〜30の有機基を表す。nは1または2である。)(b)エチレン性不飽和二重結合および、アミノ基および/またはアミド基を有する化合物(B)、および(c)一般式(2)で表されるオキシム化合物(C)【化2】(ただし、R4 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基または炭素数7〜20のアリールアルキル基、R5 は水素原子、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数7〜20のアリールアルキル基、炭素数1〜10の脂肪族アシル基、炭素数1〜10の脂肪族スルフォニル基または炭素数6〜20の脂肪族スルフォニル基、R6 は炭素数1〜10のアルキル基、炭素数1〜10のアルコキシ基、炭素数5〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜20のアリール基、炭素数6〜20のアリーロキシ基、炭素数7〜20のアリールアルキル基または炭素数2〜10の不飽和炭化水素を表す。)を含有することを特徴とする感光性ポリイミド前駆体組成物。

IPC (7)：

G03F 7/038 504 , G03F 7/038 , C08K 5/16 , C08L 79/08 LRB , G03F 7/027 , G03F 7/039 , H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭62-273259
特開昭62-127840
特開昭62-184056

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