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J-GLOBAL ID：200903021129923361
座標データ入力装置の入力パネル用透明電極膜
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
中村 静男 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995051434
Publication number (International publication number)：1996249929
Application date： Mar. 10, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：
【要約】【目的】 品質管理および工程管理の手間がITOからなる透明導電膜を得る場合と同等で、高いシート抵抗を有する薄膜であるにもかかわらず電気伝導度の経時変化が小さい、座標データ入力装置の入力パネル用透明電極膜を提供する。【構成】 本発明の座標データ入力装置の入力パネル用透明電極膜は、主要カチオン元素としてインジウム(In)および亜鉛(Zn)を含有する酸化物からなり、膜厚が50〜500オングストロームであることを特徴とするものである。
Claim (excerpt)：
主要カチオン元素としてインジウム(In)および亜鉛(Zn)を含有する酸化物からなり、膜厚が50〜500オングストロームであることを特徴とする座標データ入力装置の入力パネル用透明電極膜。
IPC (2)：
FI (3)：
H01B 5/14 A
, C23C 14/34 A
, C23C 14/34 R
