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J-GLOBAL ID：200903021142001457

ハロシランの製造方法、固形分の精製方法

Inventor：
梶本 公彦

About 梶本 公彦

, 
大場 智之

About 大場 智之

, 
平川 博之

About 平川 博之


Applicant, Patent owner：
シャープ株式会社

About シャープ株式会社

, 
チッソ株式会社

About チッソ株式会社


Agent (1)： 野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004149471
Publication number (International publication number)：2005330149
Application date： May. 19, 2004
Publication date： Dec. 02, 2005
Summary：
【課題】使用済みのスラリに含まれるシリコンをハロシランとして効率的に回収する方法を提供すること。【解決手段】 本発明のハロシランの製造方法は、(1)砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリ1を、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分3bを回収し、(2)1次遠心分離により得られた液分3aを2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分5aと、その残りのスラッジ5bとに分離し、(3)2次遠心分離により得られた液分5aを蒸留することにより得られる固形分7bについて粉砕及び有機物残渣の除去を行い、(4)得られた固形分にハロゲン化剤を反応させて得られる生成物を精留する工程を備える。【選択図】図1
Claim (excerpt)：
(1)砥粒とそれを分散する水溶性の分散媒とからなるスラリにシリコン粒が混入した使用済みスラリを、1次遠心分離することにより、砥粒が主成分の固形分を回収し、 (2)1次遠心分離により得られた液分を2次遠心分離することにより、分散媒が主成分の液分と、その残りのスラッジとに分離し、 (3)2次遠心分離により得られた液分を蒸留することにより得られる固形分について粉砕及び有機物残渣の除去を行い、 (4)得られた固形分にハロゲン化剤を反応させて得られる生成物を精留してハロシランを回収する工程を備えるハロシランの製造方法。
IPC (4)：
C01B33/107 ,  B01D3/00 ,  C02F11/00 ,  C02F11/12
FI (4)：
C01B33/107 B ,  B01D3/00 A ,  C02F11/00 C ,  C02F11/12 C
F-Term (36)：
4D059AA10 ,  4D059AA30 ,  4D059BD19 ,  4D059BE38 ,  4D059BE46 ,  4D059BE49 ,  4D059BK11 ,  4D059BK17 ,  4D059CC07 ,  4D059CC10 ,  4D076AA02 ,  4D076AA16 ,  4D076AA22 ,  4D076BB03 ,  4D076FA02 ,  4D076FA04 ,  4D076FA12 ,  4D076FA20 ,  4D076FA23 ,  4D076FA34 ,  4D076HA03 ,  4D076HA06 ,  4D076HA12 ,  4G072AA12 ,  4G072AA14 ,  4G072GG03 ,  4G072HH01 ,  4G072HH33 ,  4G072HH40 ,  4G072JJ06 ,  4G072MM01 ,  4G072MM08 ,  4G072RR17 ,  4G072UU01 ,  4G072UU02 ,  4G072UU21
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (1)
  • シリコンの回収方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願2000-096957   Applicant：株式会社日平トヤマ
Cited by examiner (2)

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