スパッタ用治具

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：白井博樹 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992239217
Publication number (International publication number)：1994088206
Application date： Sep. 08, 1992
Publication date： Mar. 29, 1994
Summary：

【要約】【目的】カラーフィルタ周辺部への傷付きを防止する。【構成】開口部2aが形成された主プレート2と、主プレート2に載置位置決めされたマスク8と、内部に多数の磁石6が設けられる副プレート5とを備え、前記主プレート2と副プレート5との間にカラーパターンが形成されたガラス基板9を、前記マスク8に対して位置決めして固定するスパッタ用治具であって、前記マスク8は、前記ガラス基板9に形成されたカラーパターン10に対応して開口部8aを有し、かつ、前記ガラス基板9に対向する面の前記開口部8a近傍に、前記カラーパターンの外周部に対向して非接触部8bを有することを特徴とする。また、非接触部の代わりにマスク8のガラス基板に対向する面にポリイミド樹脂からなるコーティング層を形成してもよい。

Claim (excerpt)：

開口部が形成された主プレートと、該主プレートに載置位置決めされたマスクと、内部に多数の磁石が設けられた副プレートとを備え、前記主プレートと副プレートとの間にカラーパターンが形成されたガラス基板を、前記マスクに対して位置決めして固定するスパッタ用治具であって、前記マスクは、前記ガラス基板に形成されたカラーパターンに対応して開口部を有し、かつ、前記ガラス基板に対向する面の前記開口部の近傍に、前記カラーパターンの外周部に対向して非接触部を有することを特徴とするスパッタ用治具。

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

特開昭51-061782
特開平2-250954
特開昭62-164865

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Cited by examiner (6)

特開昭51-061782
特開平2-250954
特開昭62-164865

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