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J-GLOBAL ID：200903021163546755

ネガ型フォトレジスト用現像液

Inventor： 佐藤 孝志
Applicant, Patent owner： 徳山石油化学株式会社
Agent (1)： 秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992357157
Publication number (International publication number)：1994194847
Application date： Dec. 22, 1992
Publication date： Jul. 15, 1994
Summary：

【要約】【目的】 感光性ポリヒドロキシエーテル樹脂を主成分とするフォトレジストを現像する現像液であって、1,1,1-トリクロロエタンと同等の性能を有する現像剤を提供する。【構成】 ポリヒドロキシエーテル樹脂とグリシジル(メタ)アクリレートとの反応により得られた感光性ポリヒドロキシエーテル樹脂を主成分とするネガ型フォトレジストを現像するに当り、炭素数6〜12の芳香族化合物もしくは炭素数6〜12の芳香族化合物を50重量%以上含む混合溶剤を現像液とすることを特徴とするネガ型フォトレジスト用現像液により上記の目的を達成できる。

Claim (excerpt)：

ポリヒドロキシエーテル樹脂とグリシジル(メタ)アクリレートとの反応により得られた感光性ポリヒドロキシエーテル樹脂を主成分とするネガ型フォトレジストを現像するに当り、炭素数6〜12の芳香族化合物もしくは炭素数6〜12の芳香族化合物を50重量%以上含む混合溶剤を現像液とすることを特徴とするネガ型フォトレジスト用現像液。