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J-GLOBAL ID:200903021189167671

2次元X線検出器

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴江 武彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995280774
Publication number (International publication number):1997129857
Application date: Oct. 27, 1995
Publication date: May. 16, 1997
Summary:
【要約】【課題】半導体平面検出器におけるデータ信号ラインに対するノイズ防止を行い、X線を正確に検出する。【解決手段】データ信号ライン1-1とゲート駆動ライン2-1との間に静電シールド部材3を設け、導電性材料から形成されたグリッド支持体32-1を静電シールド構造になっているきょう体31に接合部35-1により電気的にも固定することにより、又はグリッド34-2を直接きょう体31に接合部35-2により電気的にも固定し、半導体平面検出器43と発振器等のノイズ発生源45とを静電シールド構造で隔離して収納し、3×3mmに収まる開口をもつ格子状の導電パターン51を設ける。
Claim (excerpt):
X線像を2次元的に配列された複数の検出素子により撮影し、電気信号として出力する2次元X線検出器において、X線を電気信号に変換するX線一電気変換手段と、前記X線一電気変換手段により変換された電気信号を電荷として蓄積する蓄積手段と、前記蓄積手段に蓄積された電荷の読出しを制御するスイッチング素子と、前記スイッチング素子への制御信号を伝達する制御信号ラインと、前記スイツチング素子を介して出力される前記電荷を伝達するデータ信号ラィンと、前記制御信号ラインと前記データ信号ラインの間に設けられた静電シールド手段とを備えたことを特微とする2次元Χ線検出器。
IPC (5):
H01L 27/14 ,  A61B 6/03 320 ,  A61B 6/03 ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/146
FI (5):
H01L 27/14 K ,  A61B 6/03 320 R ,  A61B 6/03 320 Y ,  G01T 1/24 ,  H01L 27/14 C

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