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J-GLOBAL ID：200903021200670534
ガラスディスクの外周欠陥検出装置および外周欠陥検出方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
梶山 佶是 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993347678
Publication number (International publication number)：1995190950
Application date： Dec. 24, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ガラスディスクの外周欠陥検査装置において、外周エッジ部の異なる位置に存在する各欠陥の散乱光を受光し、各欠陥の検査を可能とする。【構成】 回転するガラスディスク1の表面に対して、所定の角度、例えば、約30°の入射角θT でレーザスポットSp を投射する投光系3と、入射角に対する正反射角の方向を受光角θR として設けられ、表面欠陥の散乱光を受光する受光系4とを具備した欠陥検査装置において、受光系4を第1の受光系とし、ガラスディスク1の外周側面1c に対して垂直方向に設けられ、外周エッジ部の上側のチャンファー、またはチャンファーと外周側面とに跨って存在する外周欠陥Kの散乱光をそれぞれ受光する第2の受光系5を付加して構成される。
Claim (excerpt)：
被検査のガラスディスクを装着して回転するスピンドル機構と、このスピンドル機構により回転しているガラスディスクの表面に対して、所定の入射角でレーザスポットを投射する投光系、および、前記入射角に対する正反射角の方向を受光角とし前記表面の欠陥の散乱光を受光する受光系とを具備した欠陥検査装置において、前記受光系を第1の受光系とし、前記投光系からの照射光による前記ガラスディスクの上側の周縁部、またはこの周縁部と前記外周側面とに跨って存在する外周欠陥の散乱光をそれぞれ受光する位置に設けられた第2の受光系を有することを特徴とするガラスディスクの外周欠陥検出装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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