Pat

J-GLOBAL ID：200903021212015671

特性値測定方法及び装置

Inventor： 永塚 俊治 ,  岩田 尚史 ,  相場 良彦 ,  窪田 仁志
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993200719
Publication number (International publication number)：1995091926
Application date： Aug. 12, 1993
Publication date： Apr. 07, 1995
Summary：

【要約】【目的】 照明光の入射角を変化させたときの測定対象薄膜の反射光強度変化の測定により、測定対象薄膜の膜厚や屈折率,吸収係数を測定する。【構成】 光源1からの照明光線15を照明側レンズ5で測定対象薄膜12に集光照射させ、その反射光束16を検出側レンズ6でその後焦点面34上に置かれた検出器7で集光させ、その検出信号を測定対象薄膜12の反射光強度の入射角依存特性I(θ)として記憶装置8に格納する。参照試料13についても同様の測定を行ない、参照試料13の反射光強度の入射角依存特性Iref(θ)として記憶装置9に格納する。これらI(θ),Iref(θ)を演算部10で互いに除算し、理論的に求めた参照試料13の反射率の入射角依存特性Rref(θ)とから、測定対象薄膜12の反射率の入射角依存特性R(θ)を得る。このR(θ)を演算部11で演算し、測定対象薄膜12の膜厚や屈折率,吸収係数を得る。

Claim (excerpt)：

薄膜試料を収束光で照明し、試料から反射する発散光を検出するレンズの後焦点面強度分布から薄膜の特性値を測定する方法において、屈折率と吸収係数が既知の参照試料の後焦点面強度分布と、該参照試料の反射率の入射角依存特性の理論計算値を用い、薄膜試料の後焦点面強度分布を反射率の入射角依存特性に変換した後、薄膜の膜厚、屈折率、吸収係数のどれか1つ以上を算出することを特徴とする特性値測定方法。

IPC (4)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/55 ,  H01L 21/66