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J-GLOBAL ID：200903021233876189

アイソレータ及びそこからの生成物取出方法

Inventor： 辻本 広行 ,  井上 義之
Applicant, Patent owner： ホソカワミクロン株式会社
Agent (1)： 佐野 静夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000150798
Publication number (International publication number)：2001327873
Application date： May. 23, 2000
Publication date： Nov. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】 アイソレータを加工の場として活用するとともに、そこから安全に生成物を取り出すことにつき提案を行う。【解決手段】 アイソレータ1のチャンバ2内に加工装置10を収納する。加工装置10からの生成物は容器12で受ける。容器12はハッチ30から取り出す。ハッチ30に外部容器40を連結し、この外部容器40に容器12を入れ、ハッチ30も外部容器40も閉塞して外部容器40をハッチ30から取り外すことにより、生成物を安全にチャンバ2から出すことができる。チャンバ2内にスプリンクラータイプの洗浄ノズル21もしくは手持ちの洗浄ガン23、またはその両方を配備することにより、チャンバ2内の生成物滞留と予期せぬ漏洩を防ぐことができる。

Claim (excerpt)：

次の構成要素を含むアイソレータ:(a)チャンバ。(b)前記チャンバ内に収納された加工装置。(c)前記加工装置からの生成物を受ける容器。(d)前記容器を取り出すため、前記チャンバに設けたハッチ。

IPC (2)：

B01L 1/00 ,  F24F 7/06

FI (2)：

B01L 1/00 D ,  F24F 7/06 C

F-Term (3)：

3L058BE02 ,  3L058BF00 ,  4G057AA09