ガス状媒体のプラズマアシスト処理

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：中村稔 (外9名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000602373
Publication number (International publication number)：2002538361
Application date： Feb. 28, 2000
Publication date： Nov. 12, 2002
Summary：

【要約】ガス状媒体をプラズマアシスト処理するための反応器であって、向き合った表面を有する一対の電極(1、2)を含み、該電極表面は、実質的に均一に分離され、該電極間には誘電性物質の本体(5)があり、該電極間の空間を貫いて伸びた複数のガス通路(6)を画成している。

Claim (excerpt)：

相互に向き合った表面を持つ一対の電極(1、2;21、22)を有し、該向き合った表面の間隔が、実質的に均一であり、かつその間に一定の空間を画成する、ガス状媒体をプラズマアシスト加工するための反応器であって、該電極(1、2;21、22)間に配置された、誘電体製の本体(5;23)によって特徴付けられ、該本体は、該電極間の該空間を、複数のガス通路(6;24)に分割しており、該通路の長さは、該電極(1、2;21、22)の該向き合った表面間に伸びており、かつ該ガス通路は、該向き合った表面を横切る方向に、相互に隔てられており、かくして電場の実質的に均一な分布が、該電極(1、2;21、22)間の該空間を横切って発生することを特徴とする、上記反応器。

IPC (7)：

F01N 3/08 , B01D 53/86 , B01J 19/08 , B01J 35/04 301 , B01J 35/04 , F01N 3/10 , F01N 3/28 301

FI (8)：

F01N 3/08 C , F01N 3/08 B , B01J 19/08 E , B01J 35/04 301 A , B01J 35/04 301 H , F01N 3/10 A , F01N 3/28 301 P , B01D 53/36 B

F-Term (86)：

3G091AA18 , 3G091AB14 , 3G091BA13 , 3G091BA14 , 3G091BA15 , 3G091BA19 , 3G091CA16 , 3G091CA17 , 3G091CA18 , 3G091GA01 , 3G091GA04 , 3G091GA05 , 3G091GA06 , 3G091GB09W , 3G091GB10W , 3G091GB17W , 4D048AA06 , 4D048AA13 , 4D048AA14 , 4D048AA18 , 4D048AB01 , 4D048AB02 , 4D048AC03 , 4D048AC04 , 4D048AC08 , 4D048BA03X , 4D048BA07X , 4D048BA08X , 4D048BA10X , 4D048BA11X , 4D048BA14X , 4D048BA15X , 4D048BA18X , 4D048BA19X , 4D048BA23X , 4D048BA34X , 4D048BA35X , 4D048BA36X , 4D048BA37X , 4D048BB02 , 4D048EA03 , 4G069AA03 , 4G069BA01B , 4G069BA04B , 4G069BA05B , 4G069BA07B , 4G069BA13B , 4G069BB04B , 4G069BB06B , 4G069BC03B , 4G069BC10B , 4G069BC13B , 4G069BC31B , 4G069BC32B , 4G069BC42B , 4G069BC43B , 4G069CA02 , 4G069CA03 , 4G069CA07 , 4G069CA08 , 4G069CA13 , 4G069CA14 , 4G069CA15 , 4G069CA18 , 4G069EA19 , 4G069EA28 , 4G069EC23 , 4G069ZA04B , 4G069ZA06B , 4G069ZA11B , 4G069ZA19B , 4G075AA03 , 4G075AA37 , 4G075BA05 , 4G075BD14 , 4G075CA47 , 4G075DA01 , 4G075EB21 , 4G075EC10 , 4G075EC21 , 4G075EE01 , 4G075FB02 , 4G075FB04 , 4G075FB06 , 4G075FB12 , 4G075FC15

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