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J-GLOBAL ID：200903021256443115

半導体レーザ位相シフト干渉計における位相検出方法

Inventor： 野口 正人
Applicant, Patent owner： 旭光学工業株式会社
Agent (1)： 三浦 邦夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994098899
Publication number (International publication number)：1995306006
Application date： May. 12, 1994
Publication date： Nov. 21, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 光強度が変化し位相シフトずれがあっても、位相を正確に求める。【構成】 2πの位相空間を、m個(m≧3)の測定位相点に分割し、波長シフト手段により半導体レーザの発振波長をシフトさせながら、各測定位相点において縞画像情報を求め、合計n枚の縞画像情報Ii (n≧2m-1;m≧3、i=0〜n-1、Ii は、n枚の縞画像情報の各二次元画素群における光強度)を得るステップと;これらの実測の縞画像情報Ii を、Gj ;Ij ,Im+j ,I2m+j・・・(j=0〜m-1)からなるm個のグループに分けるステップと;以上の各グループGj において、実測縞画像情報Ij ,Im+j ,I2m+j・・・(j=0〜m-1)に、実測位相点と参照位相点との位相ずれ量に応じた重みを付して、補正縞画像情報Ij'を推定するステップと;この補正縞画像情報Ij'から縞画像の位相Φを求めるステップと;とを有する。

Claim (excerpt)：

半導体レーザを光源とする干渉計であって、該半導体レーザの発振波長を変化させる波長シフト手段と;干渉の結果生じる縞画像情報を入力する、二次元画素群を有する縞画像入力手段と;を有する半導体レーザ位相シフト干渉計において、2πの位相空間を、m個(m≧3)の測定位相点に分割し、上記波長シフト手段により半導体レーザの発振波長をシフトさせながら、各測定位相点において縞画像情報を求め、合計n枚の縞画像情報Ii (n≧2m-1;m≧3、i=0〜n-1、Ii は、n枚の縞画像情報の各二次元画素群における光強度)を得るステップと;これらの実測の縞画像情報Ii を、Gj ;Ij ,Im+j ,I2m+j・・・(j=0〜m-1)からなるm個のグループに分けるステップと;以上の各グループGj において、実測縞画像情報Ij ,Im+j ,I2m+j・・・(j=0〜m-1)に、実測位相点と参照位相点との位相ずれ量に応じた重みを付して、補正縞画像情報Ij'を推定するステップと;この補正縞画像情報Ij'から縞画像の位相Φを求めるステップと;とを有することを特徴とする半導体レーザ位相シフト干渉計における位相検出方法。