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J-GLOBAL ID:200903021271883130

レリーフ型回折光学素子製造用型

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 杉村 暁秀 (外8名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1997284756
Publication number (International publication number):1999114963
Application date: Oct. 17, 1997
Publication date: Apr. 27, 1999
Summary:
【要約】【課題】 高効率のレリーフ型回折光学素子を容易に製造できるレリーフ型回折光学素子製造用型を提供する。【解決手段】 表面に複数のゾーンを有する所望のレリーフ型回折光学素子を製造するのに用いる型5において、所望のレリーフ型回折光学素子のレリーフ断面形状を反転させたレリーフパターンの各ゾーンの谷部に空気溜まり部22を設ける。
Claim (excerpt):
表面に複数のゾーンを有する所望のレリーフ型回折光学素子を製造するのに用いる型において、前記所望のレリーフ型回折光学素子のレリーフ断面形状を反転させたレリーフパターンの各ゾーンの谷部に空気溜まり部を設けたことを特徴とするレリーフ型回折光学素子製造用型。
IPC (4):
B29C 33/10 ,  B29C 33/38 ,  B29D 11/00 ,  G02B 5/18
FI (4):
B29C 33/10 ,  B29C 33/38 ,  B29D 11/00 ,  G02B 5/18

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