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J-GLOBAL ID：200903021274410232

レーザー光源

Inventor： 大和 壮一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 三品 岩男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996043019
Publication number (International publication number)：1997236837
Application date： Feb. 29, 1996
Publication date： Sep. 09, 1997
Summary：

【要約】【課題】レーザー光を発生するレーザー要素を複数並列に束ねて構成すると共に、各レーザー要素から出力されるレーザー光の発振波長を一定範囲内で一致させることができるレーザー光源を提供する。【解決手段】並列に配置された複数のレーザー要素と、これら複数のレーザー要素にわたって挿入された単一のエタロン板11とを備え、各レーザー要素は、励起用の半導体レーザー101と、半導体レーザー101からの励起光を集光するレンズ102と、集光された励起光の入射に応じて紫外光を発生する、波長変換用の非線形結晶を含んで構成されるレーザー共振器とから構成され、レーザー共振器は、反射鏡103と、NdをドープしたYAG結晶(Nd:YAG)104と、複数の非線形光学結晶105と、反射鏡106とを備えている。

Claim (excerpt)：

レーザー光をそれぞれ発生する、並列配置された複数のレーザー要素と、前記複数のレーザー要素にわたり、それぞれの光路中に挿入され、当該光路を通る、ある特定の波長範囲の光だけを透過させる光学的要素として機能する部分を備え、これら各部が一体的に支持されている光学部材とを有することを特徴とするレーザー光源。

IPC (8)：

G02F 1/37 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/00 ,  H01S 3/082 ,  H01S 3/094 ,  H01S 3/109 ,  H01S 3/23 ,  H01L 21/027

FI (9)：

G02F 1/37 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/00 B ,  H01S 3/082 ,  H01S 3/109 ,  H01S 3/094 S ,  H01S 3/23 Z ,  H01L 21/30 515 B ,  H01L 21/30 527