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J-GLOBAL ID:200903021290798950
ウェーブガイドおよび組成物
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
千田 稔 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002095177
Publication number (International publication number):2003048984
Application date: Mar. 29, 2002
Publication date: Feb. 21, 2003
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】シルセスキオキサンよりなる光ウエーブガイド用組成物を提供する。【解決手段】重合単位として式(RSiO1.5)(式中、Rは、ヒドロキシフェニルまたはヒドロキシベンジルから選択される)のモノマーを含むシルセスキオキサンオリゴマーで、光活性成分を含み、該シルセスキオキサンオリゴマーの溶解度が露光すると変わるフォトデイファイナブル組成物及び該フォトデイファイナブル組成物を用いた光ウエーブガイド及び光ウエーブガイドを含む電子デバイス。
Claim (excerpt):
重合単位として式(RSiO1.5)(式中、Rは、ヒドロキシフェニルまたはヒドロキシベンジルから選択される)のモノマーを含むシルセスキオキサンオリゴマー;および光活性成分を含み、該シルセスキオキサンオリゴマーの溶解度が化学線で露光すると変わるフォトディファイナブル組成物。
IPC (2):
C08G 77/04
, G02B 6/00 391
FI (2):
C08G 77/04
, G02B 6/00 391
F-Term (4):
2H050AB42
, 4J035BA04
, 4J035CA161
, 4J035LB20
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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光導波路型偏光子
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-158224
Applicant:日本電信電話株式会社
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ポリシロキサン化合物及びポジ型レジスト材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平7-270580
Applicant:信越化学工業株式会社
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ポジ型レジスト材料
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平6-331722
Applicant:信越化学工業株式会社, 日本電信電話株式会社
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特開平4-247406
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特開平3-006503
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光導波路
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-365922
Applicant:京セラ株式会社
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