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J-GLOBAL ID：200903021313172620

光導波路素子

Inventor： 杉山 常俊 ,  高橋 昌之 ,  重本 建生 ,  森田 繁二
Applicant, Patent owner： 日本合成ゴム株式会社
Agent (1)： 福沢 俊明
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993019253
Publication number (International publication number)：1994208033
Application date： Jan. 12, 1993
Publication date： Jul. 26, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 可視光から近赤外光領域、特に光伝送特性が極めて優れ、また耐熱性、耐湿性、加工性等にも優れた光導波路素子、並びに光導波路素子の製造方法を提供する。【構成】 光導波路素子は、コア部あるいはクラッド部の少なくとも一方が、ノルボルナン骨格を有しかつ脂肪族構造を主体とする樹脂であって、可視光および近赤外光に対する透過損失係数が0.4dB/cm以下でかつ屈折率が1.4〜1.7である熱可塑性樹脂および/または可溶性ポリイミド樹脂から構成される。光導波路素子の製造方法は、基板上に少なくともコア部を形成する該樹脂膜と放射線感応性材料からなる膜とを順次形成したのち、放射線を照射し、次いで、シリル化および/またはゲルミル化処理と反応性イオンエッチング処理とを行う工程を経る。

Claim (excerpt)：

基板上にコア部またはコア部とクラッド部とを有する光導波路素子において、前記コア部あるいはクラッド部の少なくとも一方を、ノルボルナン骨格を有しかつ主鎖の50〜100重量%が脂環族構造からなる樹脂であって、可視光から近赤外光までの波長に対する透過損失係数が0.4dB/cm 以下でかつ屈折率が1.4〜1.7である熱可塑性樹脂および/または可溶性ポリイミド樹脂から構成した光導波路素子。

IPC (2)：

G02B 6/12 ,  G02B 1/04

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (5)

• 特開平2-133413
  
• 特開平1-240517
  
• 特開平3-188402
  
• 特開平4-287047
  
• 特開平4-328556