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J-GLOBAL ID:200903021337273257

多面付けスタンパーの作成方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 土井 育郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993323310
Publication number (International publication number):1995153123
Application date: Nov. 30, 1993
Publication date: Jun. 16, 1995
Summary:
【要約】【目的】 継目が目立たずしかもパターンの間隔を短くできる多面付けスタンパーを得る。【構成】 樹脂でできた複数の単面マザースタンパーを繋ぎ合わせて多面マザースタンパーを形成し、この多面マザースタンパーを複製して多面付けスタンパーを作成するに際して、単面マザースタンパー6の継目10に窪みを備えた中間体13を一旦作成し、この中間体13から複製するカバーシートにおけるパターンの継目となる部位に紫外線硬化型樹脂の未硬化部分を残した状態とする。そして、この未硬化部分を均した状態で継目の平坦な多面マザースタンパーを複製し、この多面マザースタンパーを複製して多面付けスタンパーを作成する。
Claim (excerpt):
樹脂でできた複数の単面マザースタンパーを繋ぎ合わせた多面マザースタンパーを形成し、この多面マザースタンパーを複製して多面付けスタンパーを作成する方法であって、次の工程からなることを特徴とする多面付けスタンパーの作成方法。(1)繋ぎ合わせる単面マザースタンパーの突き合わせ端面が下広がりで向かい合うように斜めに切断加工する工程。(2)突き合わせ端面の上部に微小な隙間を空けた状態で単面マザースタンパーを基板の上に並べてセットする工程。(3)単面マザースタンパーのパターン及び前記隙間の溝内に液状の紫外線硬化型樹脂を塗布及び充填し、その上に透明なカバーシートを載せて紫外線硬化型樹脂を延ばした後、隙間に相当する部分にのみ遮光領域を設けたマスク材をカバーシートの上に重ね、紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂を半硬化させてからカバーシートを除去して中間体を作成する工程。(4)この中間体の上に紫外線硬化型樹脂を塗布し、その上に透明なカバーシートを載せて紫外線硬化型樹脂を延ばした後、前記隙間に相当する部分にのみ遮光領域を設けたマスク材をその上に載せ、紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂を半硬化させる工程。(5)パターンが複製されたカバーシートを剥がし、当該カバーシート上における帯状をした紫外線硬化型樹脂の未硬化部分を覆うように透明シートを載せて紫外線硬化型樹脂を均した後、紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂を完全硬化させてカバーシートを基材とする多面マザースタンパーを作成する工程。(6)この多面マザースタンパーを基台に固定して紫外線硬化型樹脂を塗布し、その上に透明な基材シートを載せて紫外線硬化型樹脂を延ばした後、紫外線を照射して紫外線硬化型樹脂を硬化させて基材シート上に多面付けスタンパーを作成する工程。

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