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J-GLOBAL ID：200903021396865273

ガス供給設備及び漏洩検査方法並びにガス供給方法

Inventor： 折田 隆 ,  渡邊 貞秀 ,  石原 良夫
Applicant, Patent owner： 日本酸素株式会社
Agent (1)： 木戸 一彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002045051
Publication number (International publication number)：2003240669
Application date： Feb. 21, 2002
Publication date： Aug. 27, 2003
Summary：

【要約】【課題】 ガス供給設備の立ち上げ時及びガス容器交換時の漏洩検査に要する時間を大幅に短縮することができ、ガス供給を迅速かつ確実に行うことができるガス供給設備及び漏洩検査方法並びにガス供給方法を提供する。【解決手段】 複数のガス供給ラインの中の漏洩検査対象となるガス供給ラインのガスを分析計に導入し、該ガス供給ラインを流れるガスの流量又は圧力を変化させて該ガス中の不純物濃度を測定することにより、該ガス供給ラインにおける漏洩の有無を判定する。漏洩無しと判定されたときには、該ガス供給ラインに供給対象となる実ガスを供給するとともに、前記分析計で該実ガス中の不純物濃度を測定し、不純物量が基準値未満となった時点でガス消費設備への実ガス供給を開始する

Claim (excerpt)：

ガス消費設備で消費する複数のガスをそれぞれ供給するための複数のガス供給ラインを備えたガス供給設備において、前記複数のガス供給ラインをガス切換装置を介して各ガス中の不純物を計測可能な分析計にそれぞれ接続するとともに、各ガス供給ラインを流れるガスの流量又は圧力を変化させる手段を設けたことを特徴とするガス供給設備。

IPC (3)：

G01M 3/20 ,  F17D 1/04 ,  F17D 5/02

FI (3)：

G01M 3/20 B ,  F17D 1/04 ,  F17D 5/02

F-Term (20)：

2G067AA01 ,  2G067BB02 ,  2G067BB12 ,  2G067CC01 ,  2G067CC13 ,  2G067DD17 ,  2G067DD18 ,  3J071AA02 ,  3J071BB14 ,  3J071CC07 ,  3J071CC13 ,  3J071CC17 ,  3J071DD21 ,  3J071DD30 ,  3J071EE02 ,  3J071EE09 ,  3J071EE24 ,  3J071EE25 ,  3J071FF03 ,  3J071FF11

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開平4-285171
  
• 気密試験方法及びガス供給装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願2001-393616   Applicant：日本酸素株式会社