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J-GLOBAL ID：200903021433526921

電子プローブマイクロアナライザ

Inventor： 能登谷 智史
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 菅井 英雄 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998086562
Publication number (International publication number)：1999283546
Application date： Mar. 31, 1998
Publication date： Oct. 15, 1999
Summary：

【要約】【課題】サーチ動作による自動焦点合わせを常に良好に行う。【解決手段】測定制御装置16は、自動焦点合わせを開始するに先立って、現在の試料ステージの高さ位置を中心としてサーチ動作を行うことができるか否かを判断し、このままではサーチ動作を行うことができないと判断した場合には、予め試料ステージの高さ位置を変更する退避動作を行い、その後にサーチ動作を行わせる。

Claim (excerpt)：

サーチ動作による自動焦点合わせが可能となされた電子プローブマイクロアナライザであって、サーチ動作を開始するときの試料ステージの高さ位置が、サーチ動作時の試料ステージの走査のときに上限位置または下限位置に達すると判断される場合には、試料ステージの高さ位置を変更して退避させることを特徴とする電子プローブマイクロアナライザ。

IPC (3)：

H01J 37/252 ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/147

FI (3)：

H01J 37/252 Z ,  G01N 23/225 ,  H01J 37/147