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J-GLOBAL ID:200903021482707001
赤外線検出器及びその駆動方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
煤孫 耕郎
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995026246
Publication number (International publication number):1996201177
Application date: Jan. 20, 1995
Publication date: Aug. 09, 1996
Summary:
【要約】【目的】 赤外線反射層と空間を挟んで対向する梁を持ち、梁に赤外線を吸収させる赤外線検出器において、入射赤外線の波長が変わっても感度が低下しないようにする。【構成】 赤外線反射層(3)と空間を挟んで対向する梁(6)を持ち、梁(6)に赤外線吸収層(8)有する赤外線検出器において、信号によって梁(6)と赤外線反射層間(3)の距離を変化させ吸収波長帯を変えている。そして赤外線反射層(3)側に配置した第1の導電層と梁(6)側に配置した第2の導電層の間の印加電圧(9)により距離を変化させ、吸収させる赤外線波長に応じて変化させているものである。またその駆動方法において、両者の間に印加する電圧を変化させ、梁の面と構造物の面を一時的に接触させている。
Claim (excerpt):
赤外線反射層と空間を挟んで対向する梁を有し、梁に赤外線を吸収させる層を有している赤外線検出器において、前記梁を赤外線反射層間との距離を調整できるように設け、前記空間を挟んで対向する梁と赤外線反射層間の距離を入射赤外線の波長に対応して変化させることを特徴とする赤外線検出器。
IPC (4):
G01J 5/02
, G01J 1/02
, G01J 1/42
, G01J 5/30
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