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J-GLOBAL ID：200903021484443540

ダイヤモンド様の炭素被膜を作製する方法

Inventor： デビッド ジー.オニール ,  ジョナサン ジョージ ストーラー
Applicant, Patent owner： ミネソタ マイニング アンド マニュファクチャリング カンパニー
Agent (1)： 石田 敬 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994293689
Publication number (International publication number)：1995188916
Application date： Nov. 04, 1994
Publication date： Jul. 25, 1995
Summary：

【要約】【目的】 ダイヤモンド様の炭素被膜を作製する方法を提供する。【構成】 被覆する基板を設ける工程、ガラス質の炭素の陰極又は熱分解グラファイトの陰極を設ける工程、前記陰極上にアークスポットが位置し実質的に巨視的粒子を含まない陰極アーク放電を開始させる工程、及び生じた炭素プラズマを前記基板の方へ向けることにより実質的に巨視的粒子を含まない被膜を前記基板上に形成する工程を含んで成る。

Claim (excerpt)：

被覆する基板を設ける工程、ガラス質の炭素の陰極又は熱分解グラファイトの陰極を設ける工程、前記陰極上にアークスポットが位置する実質的に巨視的粒子を含まない陰極アーク放電を開始させる工程、及び生じた炭素プラズマを前記基板の方へ向けて実質的に巨視的粒子を含まない被膜を前記基板上に形成する工程を含んで成るダイヤモンド様の炭素被膜を作製する方法。

IPC (4)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/06 ,  C30B 23/08 ,  C30B 29/04