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J-GLOBAL ID：200903021489353191

カンチレバー型微小探針の製造方法およびカンチレバー型微小探針

Inventor： 上田 雅弘 ,  長町 信治
Applicant, Patent owner： 株式会社島津製作所
Agent (1)： 西田 新
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995284983
Publication number (International publication number)：1997127139
Application date： Nov. 01, 1995
Publication date： May. 16, 1997
Summary：

【要約】【課題】 カンチレバーの自由端近傍に形成される微小針状突起の材質の選択度が大きく、従来方法に比して材料の利用効率が高いカンチレバー型微小探針の製造方法と、それにより得られる、従来実用化されていない材質の微小針状突起を持つカンチレバー型微小探針を提供する。【解決手段】 一端が基板1に固定された微小なカンチレバー2の自由端近傍の一点に、低エネルギ集束イオンビームを連続照射することによってそのイオンを直接蒸着させ、微小針状突起3を形成する。

Claim (excerpt)：

一端が基板に固定された微小カンチレバーの自由端近傍に、微小な針状突起が形成されてなるカンチレバー型微小探針を製造する方法であって、上記微小カンチレバーの自由端近傍の一点に、真空中にて低エネルギの集束イオンビームを連続照射することによりそのイオンを直接蒸着させて、金属または半導体の単体もしくは合金または化合物からなる微小針状突起を形成することを特徴とするカンチレバー型微小探針の製造方法。

IPC (4)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30 ,  G01R 1/067 ,  H01J 37/28

FI (5)：

G01N 37/00 C ,  G01N 37/00 G ,  G01B 21/30 Z ,  G01R 1/067 A ,  H01J 37/28 Z