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J-GLOBAL ID：200903021532312542
赤外線ガス分析計
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
藤本 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995267681
Publication number (International publication number)：1997089773
Application date： Sep. 20, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：
【要約】【課題】 従来にない超小型の赤外線ガス分析計を提供すること。【解決手段】 上面にガス拡散用穴11を有し、下面に導波管状の蛇行した溝12を有する第1のシリコンウェハ10と、前記溝の一端部側に対応して形成された光通過用孔21と、前記溝の他端側に対応して形成された光学フィルタ22とを備え、前記溝の開口側を閉塞するように接合され、第1のシリコンウェハとともにセル13を構成する第2のシリコンウェハ20と、前記光通過用孔に対応する位置にマイクロ赤外光源31を有し、前記光学フィルタに対応する位置に薄膜赤外線センサアレイ32を形成した第3のシリコンウェハ30とをこの順に重ね合わせて接合して分析部Xを構成し、この分析部をステムY上にマウントして、ワンチップタイプのガス分析計とした。
Claim (excerpt)：
フォトリソグラフィーによるマイクロマシニング技術を用い、三層構造の半導体基板内に、セル、赤外光源、光学フィルタおよび赤外線検出器からなる分析部を形成し、これをステム上に載せてワンチップ化し、このワンチップの分析部を信号処理用のプリント基板上にマウントして使用することを特徴とする赤外線ガス分析計。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 21/61
, G01N 21/35 Z
