Pat
J-GLOBAL ID:200903021546504088
放電プラズマ処理方法及びその装置
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002143170
Publication number (International publication number):2003338398
Application date: May. 17, 2002
Publication date: Nov. 28, 2003
Summary:
【要約】【課題】リモート方式のプラズマ処理において、対向電極の放電空間に供給する処理ガスの流量を多くしなくても高い処理効果が得られるようにする。【解決手段】所定の間隔をあけて互いに対向する一対の電極2,3からなる対向電極1間に電界を印加することによりグロー放電プラズマを発生させ、そのグロー放電プラズマをプラズマ発生空間外に配置された被処理体Fに吹き付けて処理を行う処理方法において、対向電極1の電圧印加の電極2のプラズマ吹き出し側に補助接地電極4を設け、その補助接地電極4と電圧印加の電極2との間に補助グロー放電プラズマ(例えば空気プラズマ)を発生させ、その補助グロー放電プラズマを対向電極1間で発生するグロー放電プラズマとともに被処理体Fに導いて処理を行う。
Claim (excerpt):
所定の間隔をあけて互いに対向する一対の電極を有し、その一対の電極の少なくとも一方の電極対向面に固体誘電体が設けられてなる対向電極間に、電界を印加することによりグロー放電プラズマを発生させ、そのグロー放電プラズマをプラズマ発生空間外に配置された被処理体に吹き付けて処理を行う処理方法において、前記対向電極の電圧印加側の電極のプラズマ吹き出し側に、その電圧印加側の電極先端面と所定の間隔をあけて対向する補助接地電極を設けて、この補助接地電極と前記電圧印加側の電極との間に補助グロー放電プラズマを発生させ、その補助グロー放電プラズマを前記対向電極間で発生するグロー放電プラズマとともに被処理体に導くことを特徴とする放電プラズマ処理方法。
IPC (7):
H05H 1/24
, B01J 19/08
, C23C 16/505
, C23C 16/513
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
, H01L 21/31
FI (7):
H05H 1/24
, B01J 19/08 E
, C23C 16/505
, C23C 16/513
, C23F 4/00 A
, H01L 21/31 C
, H01L 21/302 101 E
F-Term (73):
4G075AA24
, 4G075AA30
, 4G075BA06
, 4G075CA03
, 4G075CA16
, 4G075CA47
, 4G075DA02
, 4G075DA18
, 4G075EB01
, 4G075EC21
, 4G075FC15
, 4K030CA02
, 4K030CA04
, 4K030CA05
, 4K030CA06
, 4K030CA07
, 4K030CA12
, 4K030CA17
, 4K030FA01
, 4K030JA05
, 4K030JA09
, 4K030JA12
, 4K030KA15
, 4K030KA17
, 4K030KA19
, 4K030KA30
, 4K057DA20
, 4K057DB01
, 4K057DD01
, 4K057DE01
, 4K057DE06
, 4K057DE07
, 4K057DE08
, 4K057DE20
, 4K057DG07
, 4K057DG13
, 4K057DG15
, 4K057DG16
, 4K057DG20
, 4K057DM06
, 4K057DM37
, 4K057DN01
, 4K057DN10
, 5F004AA14
, 5F004AA16
, 5F004BA03
, 5F004BA04
, 5F004BA06
, 5F004BB18
, 5F004BB24
, 5F004BB28
, 5F004BD01
, 5F004CA05
, 5F004DA00
, 5F004DA01
, 5F004DA02
, 5F004DA07
, 5F004DA18
, 5F004DA21
, 5F004DA25
, 5F004DA26
, 5F004DA27
, 5F045AA08
, 5F045AB31
, 5F045AB32
, 5F045AE29
, 5F045BB08
, 5F045BB20
, 5F045DP03
, 5F045DP27
, 5F045DQ10
, 5F045EH13
, 5F045EH18
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