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J-GLOBAL ID：200903021578183119
ダイヤモンド膜を有する有機高分子材料の製造法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
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Agent (1)：
三枝 英二 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993295906
Publication number (International publication number)：1995118853
Application date： Oct. 19, 1993
Publication date： May. 09, 1995
Summary：
【要約】【構成】 耐熱性を有する有機高分子材料からなる基板に耐プラズマ性を有する保護膜を形成し、その上に有磁場マイクロ波プラズマCVD法によりダイヤモンド膜を形成したことを特徴とするダイヤモンド膜を有する有機高分子材料の製造法。【効果】 有機高分子材料の表面に、極めて容易に、有磁場マイクロ波プラズマCVD法により、かなり結晶性の高い高品質のダイヤモンド膜を形成できる。
Claim (excerpt)：
耐熱性を有する有機高分子材料からなる基板に耐プラズマ性を有する保護膜を形成し、その上に有磁場マイクロ波プラズマCVD法によりダイヤモンド膜を形成したことを特徴とするダイヤモンド膜を有する有機高分子材料の製造法。
IPC (3)：
C23C 16/26
, C23C 16/50
, C30B 29/04
