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J-GLOBAL ID：200903021589106469
複合位置決め装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 哲也 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992070070
Publication number (International publication number)：1993234865
Application date： Feb. 21, 1992
Publication date： Sep. 10, 1993
Summary：
【要約】【目的】 簡単な構成で装置自身が発生する振動の制振作用を達成し、これにより床からの振動の除振作用を最大限に発揮可能とする複合位置決め装置を提供する。【構成】 除振手段に支持された定盤16と、該定盤上に搭載された各々独立して駆動制御可能な複数台のステージ8と、各ステージを駆動して速度および位置を制御する速度位置制御装置23と、各ステージを駆動する際加速減速の開始時を一致させかつ加速減速時間と駆動力との積である力積の和がゼロとなるように各ステージを同期運転させる同期制御手段24を備える。
Claim (excerpt)：
除振手段に支持された定盤と、該定盤上に搭載された各々独立して駆動制御可能な複数台のステージと、各ステージを駆動して速度および位置を制御する速度位置制御装置と、各ステージを駆動する際加速減速の開始時を一致させかつ加速減速時間と駆動力との積である力積の和がゼロとなるように各ステージを同期運転させる同期制御手段を備えたことを特徴とする複合位置決め装置。
FI (2)：
H01L 21/30 341 L
, H01L 21/30 311 M
