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J-GLOBAL ID：200903021611324467

研磨装置

Inventor： 中村 由夫
Applicant, Patent owner： 不二越機械工業株式会社
Agent (1)： 綿貫 隆夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992245785
Publication number (International publication number)：1994063862
Application date： Aug. 22, 1992
Publication date： Mar. 08, 1994
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 複数のポリッシング装置を小スペースでレイアウトし、キャリアプレートの供給・排出を容易に、かつ効率的に行う。【構成】 搬入されたキャリアプレートを定盤の回転によりセンターローラ16とガイドローラ18との間で挟持する位置まで搬送し、次いで同様にして最奥部から2番目のガイドローラ18とセンターローラ16との間でキャリアプレート20を挟持するというように順次定盤の奥側からキャリアプレート20をセンターローラ16と各複数のガイドローラ18との間でセットするポリッシング装置12A〜12Dを複数並設する。第1番目のポリッシング装置12Aの搬入位置および各ポリッシング装置間に、キャリアプレート20の搬送装置34を設け、最下流のポリッシング装置12Dのキャリアプレート20の排出位置からキャリアプレートを順次排出する排出装置34を設ける。

Claim (excerpt)：

上面に研磨クロスを貼り付け、回転可能な定盤と、定盤の中央に設けたセンターローラと、定盤の周辺に所定間隔をおいて複数個配置され、ウエハを裏面に貼り付けたキャリアプレートを、センターローラとの間で挟持する位置およびフリーとする位置との間にわたって移動可能に設けられたガイドローラを具備し、定盤上のキャリアプレート搬入位置に対して定盤回転方向の最奥部のガイドローラをキャリアプレートの挟持位置に移動して、搬入位置に搬入されたキャリアプレートを定盤の回転によりセンターローラと前記ガイドローラとの間で挟持する位置まで搬送し、次いで同様にして最奥部から2番目のガイドローラとセンターローラとの間でキャリアプレートを挟持するというように順次定盤の奥側からキャリアプレートをセンターローラと各複数のガイドローラとの間でセットし、次いでキャリアプレートをトップリングにより定盤に押圧しつつ定盤を回転させて研磨するポリッシング装置を複数並設し、第1番目のポリッシング装置の定盤上のキャリアプレートの前記搬入位置にキャリアプレートを搬入する搬入装置を設け、各ポリッシング装置間に、上流側のポリッシング装置のキャリアプレート排出位置からキャリアプレートを受け取り、下流側のポリッシング装置のキャリアプレートの搬入位置にキャリアプレートを順次搬入するキャリアプレートの搬送装置を設け、最下流のポリッシング装置のキャリアプレートの排出位置からキャリアプレートの順次排出する排出装置を設けたことを特徴とする研磨装置。

IPC (3)：

B24B 37/04 ,  B24B 37/00 ,  B24B 41/06

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開平4-053674
  
• 特開昭61-270072
  
• 特開平4-053674
  
• 特開昭61-270072