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J-GLOBAL ID：200903021614706000

干渉計ミラーを有するステージ装置

Inventor： 青木 淳行
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996086762
Publication number (International publication number)：1997280821
Application date： Apr. 09, 1996
Publication date： Oct. 31, 1997
Summary：

【要約】【課題】 X軸位置計測用干渉計ミラーとY軸位置計測用干渉計ミラーの直交度を簡単に計測する。【解決手段】 ステージ1に1つのマークAM1を設け、X軸方向に所定間隔で設けられた一対の顕微鏡6b,6cを介してCCD7でマークAM1を撮像してその位置を検出する。Y軸方向に所定間隔で設けられた一対の顕微鏡6a,6bを介してCCD7でマークAM1を撮像してその位置を検出する。顕微鏡6b,6cを介して検出されたマークAM1のY位置および顕微鏡6a,6bを介して検出されたマークAM1のX位置に基づいて、X軸位置計測用干渉計ミラー5XaとY軸位置計測用干渉計ミラー5Yaの直交度を演算する。

Claim (excerpt)：

直交するX軸方向とY軸方向に移動するステージと、前記ステージと一体に設けられたX軸およびY軸位置計測用干渉計ミラーとを備えるステージ装置において、前記ステージに設けられた1つのマークと、前記X軸方向に所定間隔で設けられた一対の第1の検出手段と、前記Y軸方向に所定間隔で設けられた一対の第2の検出手段と、前記ステージを前記X軸方向に移動させて前記マークを前記第1の検出手段のそれぞれに順次に対向させるとともに、前記ステージを前記Y軸方向に移動させて前記第2の検出手段のそれぞれに順次に対向させるステージ制御手段と、前記一対の第1の検出手段で検出された前記マークのY位置および前記一対の第2の検出手段で検出された前記マークのX位置に基づいて、X軸位置計測用干渉計ミラーとY軸位置計測用干渉計ミラーの直交度を演算する演算手段とを具備することを特徴とするステージ装置。

IPC (4)：

G01B 11/00 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4)：

G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/30 503 A