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J-GLOBAL ID：200903021621058412

ワイヤソー又はバンドソー用水性研削液

Inventor： 大石 弘 ,  浅川 慶一郎 ,  松崎 順一 ,  芦田 昭雄
Applicant, Patent owner： 株式会社スーパーシリコン研究所 ,  大智化学産業株式会社
Agent (1)： 小倉 亘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999137059
Publication number (International publication number)：2000327838
Application date： May. 18, 1999
Publication date： Nov. 28, 2000
Summary：

【要約】【目的】 砥粒分散性,耐砥粒沈降性,粘度等の特性が長時間にわたって高位に安定し、油性スラリーにみられた引火性や特異な臭気がなく、切り出されたウェーハや装置の洗浄・清掃が容易な水性スラリーを提供する。【構成】 この水性研削液は、多価アルコール及び/又は多価アルコール誘導体40.0〜95.0重量%,水分5.0〜50.0重量%,ベントナイト膨潤粒子0.1〜3.5重量%,セルロース0.1〜5.0重量%及び雲母0.5〜10.0重量%からなる組成をもつ。ベントナイト膨潤粒子,セルロース及び雲母は、回転円筒型粘度計で測定したスラリーの粘度が150〜300mPa・秒の範囲に収まるように複合添加されることが好ましい。

Claim (excerpt)：

多価アルコール及び/又は多価アルコール誘導体:40.0〜95.0重量%,水分:5.0〜50.0重量%,ベントナイト:0.1〜3.5重量%,セルロース:0.1〜5.0重量%及び雲母:0.5〜10.0重量%の組成をもつワイヤソー又はバンドソー用水性研削液。

IPC (6)：

C08L 1/02 ,  B24B 27/06 ,  B24B 57/02 ,  C08K 3/34 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/04

FI (6)：

C08L 1/02 ,  B24B 27/06 D ,  B24B 57/02 ,  C08K 3/34 ,  C08K 5/00 ,  C08K 5/04

F-Term (17)：

3C047GG00 ,  3C058AA05 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058CB02 ,  3C058CB10 ,  3C058DA02 ,  4J002AB011 ,  4J002DJ007 ,  4J002EC046 ,  4J002ED026 ,  4J002EF008 ,  4J002EG028 ,  4J002EG038 ,  4J002EH046 ,  4J002FD319 ,  4J002HA07