フォトレジスト現像剤におけるアルキル化したポリアミンの使用

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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：石田敬 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001001755
Publication number (International publication number)：2001194777
Application date： Jan. 09, 2001
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】本発明は、平衡および動的表面張力を低下させるフォトレジスト現像剤用/エレクトロニクス洗浄用の水性組成物を提供する。【解決手段】化学構造IもしくはII【化1】(ここでRおよびR′は独立してC5〜C8のアルキルであり、GはC1〜C4アルキル置換基を含んでいてもよい、C2〜C6の線状もしくは環状アルキレン基であり、mは2〜6、そしてnは2もしくは3である。)で表わされるジアルキルポリアミン化合物を界面活性剤として有効量配合してなる。

Claim (excerpt)：

界面活性剤を有する水性フォトレジスト現像剤組成物において、界面活性剤として、化学構造IもしくはII【化1】(ここで、RおよびR′は独立してC5〜C8のアルキルであり、GはC1〜C4アルキル置換基を含んでいてもよい、C2〜C6の線状もしくは環状アルキレン基であり、mは2〜6、そしてnは2もしくは3である。)で表わされるジアルキルポリアミン化合物を使用することを含むことを特徴とする現像剤組成物。

IPC (6)：

G03F 7/004 504 , G03F 7/32 , H01L 21/027 , C07C211/09 , C07C211/14 , C07C211/36

FI (6)：

G03F 7/004 504 , G03F 7/32 , C07C211/09 , C07C211/14 , C07C211/36 , H01L 21/30 569 E

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

アルキル化ポリアミンによる表面張力の低下
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-320238 Applicant：エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
N,N′-ジアルキルアルキレンジアミンによる表面張力の低下
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平11-010320 Applicant：エアー.プロダクツ.アンド.ケミカルス.インコーポレーテッド
特開昭63-034542

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