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J-GLOBAL ID：200903021734303049

ウェハステージ及びウェハプロービング装置

Inventor： 佐野 日隅
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 松本 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994095046
Publication number (International publication number)：1995302830
Application date： May. 09, 1994
Publication date： Nov. 14, 1995
Summary：

【要約】【目的】反りの生じたウェハを確実に吸着保持できるようにして、ウェハプロービング時、ウェハと電極針間の相対的な位置関係が損なわれたり、ウェハが破損したりしないようにする。【構成】ウェハステージを複数個のサブステージ1、2に分割して構成する。中央に設けたサブステージ1を基準として、その周辺に複数のサブステージ2、2を配置する。この複数の周辺サブステージ2、2は、そのステージ面の方向を自由に変えられる機構をもつ。また、中央のサブステージ1に対し、それぞれ独立に上下動できるとともに、その上下位置が固定できる機構をもつ。

Claim (excerpt)：

ウェハの形状に対応するように複数のサブステージに分割したことを特徴とするウェハステージ。

IPC (5)：

H01L 21/68 ,  G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66 ,  B23Q 3/02