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J-GLOBAL ID：200903021737134272
細管内プラズマ発生法とこれを用いた薄膜堆積方法及び細管内壁面改質方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：
重信 和男
, 内野 春喜
, 清水 英雄
, 高木 祐一
, 中野 佳直
, 秋庭 英樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2007028491
Publication number (International publication number)：2008192567
Application date： Feb. 07, 2007
Publication date： Aug. 21, 2008
Summary：
【課題】 本発明は極めて口径が小さく、細長く、湾曲するなど柔軟な形状をもつガラス管やプラスチック管の内側に長さ方向に渡って安定で一様なプラズマを発生する方法とこのプラズマを用いて高機能性の薄膜を堆積する方法及び細管内壁表面の改質方法を提供することを課題とする。【解決手段】 電圧Vの交流又はパルス電源により駆動される電極間に、絶縁物を介して長尺な細管を挟み、細管の内部圧力を細管の外部圧力よりも低くするとともに、電圧Vを細管内部のみで放電が開始し、細管内部のみにプラズマが生成される電圧に設定することを特徴とする細管内プラズマ発生法とこのプラズマを用いて高機能性の薄膜を堆積する方法及び細管内壁表面の改質方法である。【選択図】 図3
Claim (excerpt)：
電圧Vの交流又はパルス電源により駆動される電極間に、誘電体を介して長尺な細管を挟み、細管の内部圧力を細管の外部圧力よりも低くするとともに、電圧Vを細管内部のみで放電が開始し、細管内部のみにプラズマが生成される電圧に設定することを特徴とする細管内プラズマ発生法。
IPC (2)：
FI (2)：
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