電気配線の製造方法および配線基板および表示装置および画像検出器

Inventor： , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：青山葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000058696
Publication number (International publication number)：2001032086
Application date： Mar. 03, 2000
Publication date： Feb. 06, 2001
Summary：

【要約】【課題】真空成膜装置を用いることなく、低コストで製造できると共に、大面積基板に容易に対応できる電気配線の製造方法および配線基板および表示装置および画像検出器を提供する。【解決手段】絶縁性基板41上に湿式成膜技術(ゾルゲル法,化学析出法または液相析出法)を用いて酸化膜42を形成する。次に、上記酸化膜42を配線形状にパターニングする。そして、酸化膜のパターン42a上に、湿式成膜技術(湿式メッキ法)を用いてNiからなる金属膜43を成膜する。さらに、そのNiからなる金属膜43上に、無電解メッキにより低抵抗なAuからなる金属膜44を積層し、Au膜44上に電気メッキにより低抵抗で低コストなCuからなる金属膜45を積層する。

Claim (excerpt)：

絶縁性基板上に湿式成膜技術によって酸化膜を形成する酸化膜形成工程と、上記酸化膜上に湿式成膜技術によって金属膜を形成する金属膜形成工程とを有することを特徴とする電気配線の製造方法。

IPC (7)：

C23C 28/00 , C23C 18/31 , G02F 1/1333 500 , G02F 1/1368 , H01B 13/00 503 , H01B 13/00 , H05K 3/46

FI (8)：

C23C 28/00 B , C23C 28/00 E , C23C 18/31 A , G02F 1/1333 500 , H01B 13/00 503 D , H01B 13/00 503 B , H05K 3/46 B , G02F 1/136 500

F-Term (68)：

2H090JA05 , 2H090JB02 , 2H090JB03 , 2H090LA01 , 2H092JB22 , 2H092JB31 , 2H092KB04 , 2H092MA10 , 2H092MA11 , 2H092MA12 , 2H092NA27 , 2H092NA28 , 2H092PA01 , 4K022AA02 , 4K022AA03 , 4K022AA05 , 4K022AA14 , 4K022AA19 , 4K022AA20 , 4K022BA03 , 4K022BA08 , 4K022BA10 , 4K022BA14 , 4K022BA15 , 4K022BA21 , 4K022BA25 , 4K022BA31 , 4K022BA33 , 4K022BA35 , 4K022BA36 , 4K022CA06 , 4K022CA07 , 4K022CA18 , 4K022CA21 , 4K022CA22 , 4K022DA01 , 4K022DA06 , 4K022DA09 , 4K022DB02 , 4K022DB03 , 4K044AA12 , 4K044AA16 , 4K044AB10 , 4K044BA06 , 4K044BA08 , 4K044BA12 , 4K044BB02 , 4K044BB10 , 4K044BC05 , 4K044BC14 , 4K044CA15 , 4K044CA18 , 4K044CA21 , 4K044CA53 , 5E346CC04 , 5E346CC16 , 5E346CC32 , 5E346CC37 , 5E346CC38 , 5E346DD23 , 5E346EE34 , 5E346GG17 , 5E346HH31 , 5G323BA01 , 5G323BA04 , 5G323BB01 , 5G323BB06 , 5G323BC01

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

絶縁体のメタライズ方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平6-312370 Applicant：株式会社ジャパンエナジー
Pb含有金属酸化物薄膜パターンの形成方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平8-175013 Applicant：三菱マテリアル株式会社

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