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J-GLOBAL ID：200903021779357964

単結晶引上げ方法

Inventor： 佐々木 斉 ,  安斎 裕 ,  黄 新明 ,  寺嶋 一高 ,  木村 茂行
Applicant, Patent owner： 新技術事業団 ,  佐々木 斉 ,  安斎 裕 ,  寺嶋 一高
Agent (1)： 小倉 亘
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994046994
Publication number (International publication number)：1995257990
Application date： Mar. 17, 1994
Publication date： Oct. 09, 1995
Summary：

【要約】【目的】 融液の表面張力から融液動態や酸素濃度を推定し、一定した品質の単結晶を引き上げる。【構成】 単結晶引上げ用融液6に表面張力測定子15を接触させ、融液6の表面張力を測定する。測定した表面張力の変動から融液6の動態や酸素濃度を推定し、表面張力の変動に応じ単結晶8の引上げ速度,ルツボ2の下降速度,ルツボ2及び単結晶8の回転数,融液の温度勾配及び融液に印加する磁界19の強度等の引上げ条件を制御する。【効果】 融液動態や酸素濃度と密接な関係にある表面張力を制御することにより、得られた単結晶8の品質が安定化する。

Claim (excerpt)：

単結晶引上げ用融液に表面張力測定子を接触させ、該表面張力測定子で前記融液の表面張力を測定し、該表面張力の変動から前記融液の動態を推定し、前記表面張力の変動に応じて引上げ条件を制御しながら、前記融液から単結晶を引き上げることを特徴とする単結晶引上げ方法。

IPC (4)：

C30B 15/20 ,  C30B 15/00 ,  C30B 29/06 502 ,  G01N 13/02