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J-GLOBAL ID：200903021804430949
静電チャック装置およびその運転方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 巖
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992327075
Publication number (International publication number)：1994170670
Application date： Dec. 08, 1992
Publication date： Jun. 21, 1994
Summary：
【要約】【目的】絶縁物中の吸着面近傍に吸着用電極とヒータとを埋め込んでなる温度センサ内蔵型静電チャック装置において、吸着面に吸着・保持されている被吸着物に作用している吸着力が変化した場合にも、吸着力変化による被吸着物の温度変化が生じないようにする装置構成と、この構成による静電チャック装置の運転方法とを提供する。【構成】温度センサ4に加え、吸着力の測定可能な圧力センサ10を内蔵させた装置構成とする。運転に際しては、運転の初期状態における吸着力を標準吸着力としてメモリー12に保存し、被吸着物15の処理開始から終了までの間、逐次吸着力を測定して標準吸着力からの変化分による温度変化分で温度センサ4の出力信号を補正してヒータ電源8を制御するか、標準吸着力からの変化分で吸着用電源9を制御して吸着力を元に戻すようにする。
Claim (excerpt)：
吸着面近傍に電極とヒータとを埋め込まれた絶縁物の前記吸着面上に被吸着物を置き、被吸着物と電極間に働く静電力により被吸着物を吸着面に吸着・保持し、ヒータによって被吸着物の加熱を行う静電チャック装置であって、かつ被吸着物の温度を計測する温度センサを内蔵したものにおいて、前記温度センサに加え、吸着面に吸着・保持された被吸着物に作用している吸着力を、吸着面表面の微視的凹凸に基づく吸着面と被吸着物との間隔の,両者の接触開始からの変化から捉える圧力センサを内蔵していることを特徴とする静電チャック装置。
IPC (3)：
B23Q 3/15
, H01L 21/68
, H02N 13/00
