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J-GLOBAL ID：200903021823727529
石英ガラスの製造方法及びそれにより製造された 石英ガラス
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993330740
Publication number (International publication number)：1995187684
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 25, 1995
Summary：
【要約】【目的】 紫外光照射による透過率低下を抑えるのに必要な量の水素分子を含有し、泡・異物・歪・脈理等含まず、光学的に均質で紫外線耐久性を有する石英ガラスの製造方法を提供する。【構成】 「最外部を除く複数の燃焼用リング状管から噴出させる酸素ガス及び水素ガスの割合」を理論当量比及び「最外部の燃焼用リング状管とその内部の燃焼用円状管から噴出させる酸素ガス及び水素ガスの割合」と比較して水素過剰とする。
Claim (excerpt)：
中心部に配置されSi化合物ガスを噴出する原料用円状管と、これの周囲に同心円状に配置され酸素ガスおよび水素ガスを噴出する複数の燃焼用リング状管と、最外部の燃焼用リング状管の内部に配置され酸素を噴出する複数の燃焼用円状管とを有するバーナにより、Si化合物ガスと酸素ガスと水素ガスとを噴出し、ターゲット上に石英ガラス粉を堆積しガラス化させ、インゴットを形成する石英ガラスの製造方法において、「最外部を除く複数の燃焼用リング状管から噴出させる酸素ガスおよび水素ガスの割合」を、理論当量比および「最外部の燃焼用リング状管とその内部の燃焼用円状管から噴出させる酸素ガスおよび水素ガスの割合」と比較して水素過剰とすることを特徴とする石英ガラスの製造方法。
IPC (2)：
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