ポジ型レジスト組成物

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：小栗昌平 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000080519
Publication number (International publication number)：2001264985
Application date： Mar. 22, 2000
Publication date： Sep. 28, 2001
Summary：

【要約】【課題】パターンのエッジラフネスが改良され、優れたレジストパターンプロファイルが得られる高感度の化学増幅型ポジ型フォトレジスト組成物を提供すること。【解決手段】(A)特定の環構造を主鎖に有し、樹脂を構成する繰り返し構造単位に対応する単量体の含有量がGPCの全パターン面積の5%以下である酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂と、(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物とを含有するポジ型レジスト組成物が提供される。

Claim (excerpt)：

(A)(i)下記一般式(Ia)及び一般式(Ib)で表される繰り返し構造単位群から選択される少なくとも1種の繰り返し構造単位と下記一般式(II)で表される繰り返し構造単位とを有し、(ii)酸の作用により分解する基を有し、そして(iii)樹脂を構成する繰り返し構造単位に対応する単量体の含有量がゲルパーミエーションクロマトグラフィーの全パターン面積の5%以下である、酸の作用によりアルカリ現像液に対する溶解速度が増加する樹脂、並びに(B)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物を含有することを特徴とするポジ型レジスト組成物。【化1】式(Ia)中:R1、R2は、各々独立に、水素原子、シアノ基、水酸基、-COOH、-COOR5、-CO-NH-R6、-CO-NH-SO2-R6、置換されていてもよい、アルキル基、アルコキシ基あるいは環状炭化水素基、又は下記-Y基を表す。Xは、酸素原子、硫黄原子、-NH-、-NHSO2-又は-NHSO2NH-を表す。ここで、R5は、置換基を有していてもよい、アルキル基、環状炭化水素基又は下記-Y基を表す。R6は、置換基を有していてもよい、アルキル基又は環状炭化水素基を表す。Aは単結合又は2価の連結基を表す。-Y基;【化2】(-Y基中、R21〜R30は、各々独立に、水素原子又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。a,bは1又は2を表す。)式(Ib)中:Z2は、-O-又は-N(R3)-を表す。ここでR3は、水素原子、水酸基又は-OSO2-R4を表す。R4は、アルキル基、ハロアルキル基、シクロアルキル基又は樟脳残基を表す。式(II)中:R11、R12は、各々独立に、水素原子、シアノ基、ハロゲン原子、又は置換基を有していてもよいアルキル基を表す。Zは、結合した2つの炭素原子(C-C)を含み、置換基を有していてもよい脂環式構造を形成するための原子団を表す。

IPC (14)：

G03F 7/039 601 , C08F 6/12 , C08F 8/14 , C08F222/06 , C08F222/10 , C08F222/40 , C08F232/00 , C08K 5/3492 , C08K 5/353 , C08K 5/41 , C08K 5/42 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , H01L 21/027

FI (14)：

G03F 7/039 601 , C08F 6/12 , C08F 8/14 , C08F222/06 , C08F222/10 , C08F222/40 , C08F232/00 , C08K 5/3492 , C08K 5/353 , C08K 5/41 , C08K 5/42 , C08L 35/00 , C08L 45/00 , H01L 21/30 502 R

F-Term (80)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BJ05 , 2H025BJ10 , 2H025CB10 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CB45 , 2H025CB52 , 2H025CB56 , 2H025FA17 , 4J002BH021 , 4J002BK001 , 4J002EU186 , 4J002EU216 , 4J002EV216 , 4J002EV236 , 4J002FD206 , 4J002GP03 , 4J100AK32P , 4J100AM43P , 4J100AM45P , 4J100AM47P , 4J100AR09Q , 4J100AR11Q , 4J100BA02H , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA03H , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA05H , 4J100BA05Q , 4J100BA06H , 4J100BA06Q , 4J100BA11H , 4J100BA11P , 4J100BA11Q , 4J100BA12Q , 4J100BA15H , 4J100BA15Q , 4J100BA16H , 4J100BA16Q , 4J100BA28H , 4J100BA34Q , 4J100BA35Q , 4J100BA40H , 4J100BA40Q , 4J100BA56Q , 4J100BA58H , 4J100BA58P , 4J100BA58Q , 4J100BA59H , 4J100BB01Q , 4J100BB17P , 4J100BC04H , 4J100BC04Q , 4J100BC07H , 4J100BC07P , 4J100BC07Q , 4J100BC09H , 4J100BC09Q , 4J100BC12H , 4J100BC12Q , 4J100BC53H , 4J100BC53Q , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA31 , 4J100GC07 , 4J100HA08 , 4J100HA11 , 4J100JA38

Return to Previous Page