Pat

J-GLOBAL ID：200903021835946994

原子間力顕微鏡用カンチレバー装置

Inventor： 広瀬 幸範 ,  片山 俊治 ,  伊藤 由紀 ,  本田 和仁
Applicant, Patent owner： 三菱電機株式会社
Agent (1)： 曾我 道照 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992286318
Publication number (International publication number)：1994137855
Application date： Oct. 23, 1992
Publication date： May. 20, 1994
Summary：

【要約】【目的】 原子間力顕微鏡(AFM)用カンチレバー装置を高分解能で安定した像が得られるようにする。【構成】 原子間力顕微鏡用のカンチレバー2の背面に金属膜4を形成し、温度コントローラー5によりその金属膜4に電流を流して、カンチレバー2の温度を制御する。【効果】 高分解能で安定したAFM像を得ることができる。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの背面に形成した金属膜に電流を流すことにより前記カンチレバーの温度を制御する温度制御手段を備えたことを特徴とする原子間力顕微鏡用カンチレバー装置。